机废气处理装置多种多类， 各有其特点和功效， 常用的有效处理设备有：蓄热式直接燃烧装置 ( RTO) 、蓄热式催化氧化装置 ( RCO) 、活性炭吸附装置 、酸雾洗涤塔装置 、低温等离子设备 、UV光触媒除臭设备 。在一个具体的工程案例中，往往会多种处理工艺的结合，才能最终有效的达到处理效果。